Технические госты
ГСОЕИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки, ГОСТ Р 8.636-2007

ГОСТ Р 8.636-2007

Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки

ГОСТ Р 8.636-2007
Группа Т88.1

     
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

Методика калибровки

State system for ensuring the uniformity of measurements.
Scanning electron microscopes. Methods for calibration


ОКС 17.040.01

Дата введения 2008-08-01

Предисловие


Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"
Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" и государственным образовательным учреждением высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 "Нанотехнологии и наноматериалы" Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 ноября 2007 г. N 319-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

1 Область применения

     1 Область применения


Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее - РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 до 10 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.

2 Нормативные ссылки


В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ Р 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1*
________________
* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Эксплуатация
ГОСТ 12.2.061-81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) документом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

3 Термины и определения


В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.

3.1

растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.
[ГОСТ 21006-75, статья 3]

3.2 рельеф поверхности твердого тела (рельеф поверхности): Поверхность твердого тела, отклонения которой от идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.

3.3 элемент рельефа поверхности (элемент рельефа): Пространственно локализованная часть рельефа поверхности.

3.4

ускоряющее напряжение электронного микроскопа (ускоряющее напряжение): Разность потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроскопа.
[ГОСТ 21006-75, статья 47]

3.5

изображение во вторичных электронах: Изображение, сформированное в растровом электронном микроскопе с использованием вторичных электронов от объекта.
[ГОСТ 21006-75, статья 33]

3.6

отклоняющая система электронного микроскопа (отклоняющая система): Электронно-оптический элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка электрическими или магнитными полями.
[ГОСТ 21006-75, статья 25]

3.7

электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа: Отношение линейного размера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру соответствующего элемента объекта.
[ГОСТ 21006-75, статья 50]

3.8 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате математической обработки информативного сигнала.

3.9 изображение на экране монитора РЭМ (видеоизображение): Изображение на экране монитора РЭМ в виде матрицы из строк по пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
Примечание - Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюдателя.

3.10 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость значения информативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа, от номера пикселя в данной строке видеоизображения.

3.11 масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ (масштабный коэффициент): Отношение значения длины исследуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображении.
Примечание - Масштабный коэффициент определяют для каждого РЭМ.

3.12 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект, линейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
Примечание - Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.

3.13 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа, линейный размер хотя бы одного из которых менее 10 м.

3.14 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше прилегающих к нему областей.

3.15 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример - Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, геометрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимируется трапецией.

3.16 электронный зонд РЭМ (электронный зонд): Сфокусированный на поверхности объекта электронный пучок РЭМ.

3.17 низковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющее напряжение которого не более 2 кВ.

3.18 высоковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ, ускоряющее напряжение которого не менее 15 кВ.

3.19 сканирование РЭМ элемента исследуемого объекта (сканирование): Перемещение электронного зонда вдоль выбранного отрезка исследуемого объекта с помощью отклоняющей системы РЭМ с одновременной регистрацией информативного сигнала.

3.20 медленные вторичные электроны; МВЭ: Группа вторичных электронов, возникающая в результате взаимодействия электронного зонда с исследуемым объектом, энергия которых не превышает 50 эВ (8·10 Дж).

3.21 эффективный диаметр электронного зонда: Значение величины, характеризующей поперечный размер электронного зонда, экспериментально определяемое путем обработки кривой видеосигнала в режиме регистрации МВЭ в рамках выбранной модели взаимодействия зонда с веществом.

4 Технические требования

4.1 Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки

4.1.1 Суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ должна быть не более 0,01 нм/пиксель.

4.1.2 Суммарная стандартная неопределенность измерения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ должна быть не более 1 нм.

4.2 Требования к средству калибровки

4.2.1 Калибровку РЭМ проводят с помощью рельефной меры нанометрового диапазона (далее - рельефная мера), изготовленной по ГОСТ Р 8.628 и поверенной по ГОСТ Р 8.629.

4.2.2 Допускается применять другие средства калибровки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

4.3 Требования к условиям проведения калибровки

4.3.1 Калибровку РЭМ проводят в следующих условиях:

- температура окружающей среды

(20±3) °С;

- относительная влажность воздуха

не более 80%;

- атмосферное давление

(100±4) кПа;

- напряжение питающей сети

220;

- частота питающей сети

50 Гц.

4.3.2 Помещение (зона), где размещен РЭМ и средства его калибровки, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.

5 Требования к квалификации калибровщиков


Калибровку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологических служб предприятий, аккредитованных в установленном порядке на проведение калибровочных работ по [1]. Сотрудники должны быть профессионально подготовлены, иметь опыт работы с РЭМ и знать требования настоящего стандарта. Рабочие места калибровщиков должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства.

6 Требования по обеспечению безопасности


При проведении калибровки РЭМ необходимо соблюдать правила электробезопасности по [2], [3] и требования по обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061, [4], [5].

7 Подготовка к процедуре калибровки

7.1 Подготовку к процедуре калибровки РЭМ проводят следующим образом:
- выбирают необходимую для калибровки РЭМ рельефную меру по 4.2.1, сечение выступа которой приведено на рисунке 1а). В качестве исследуемого элемента используют выступ, для которого в паспорте (формуляре) на меру приведено значение проекции боковой грани на плоскость нижнего основания .

Рисунок 1 - Сечение выступа рельефной меры и его видеопрофили, полученные с помощью РЭМ различных типов

- ось значений координаты электронного зонда в направлении сканирования в пикселях;
- ось значений информативного сигнала в пикселях
Рисунок 1 - Сечение выступа рельефной меры и его видеопрофили,
полученные с помощью РЭМ различных типов


В зависимости от ожидаемого значения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ используют рельефную меру, для которой

;


- проводят осмотр футляра, в котором осуществлялось хранение и транспортирование рельефной меры, на отсутствие механических повреждений;
- проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной меры данным, приведенным в паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- выдерживают выбранный экземпляр рельефной меры в помещении, где будет проведена калибровка РЭМ, не менее 24 ч;
- извлекают рельефную меру из футляра и осматривают ее для выявления внешних повреждений (царапин, сколов и других дефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от частиц пыли струей очищенного и осушенного воздуха.

7.2 Выполняют операции, необходимые для подготовки РЭМ к работе, в соответствии с требованиями инструкции по его эксплуатации. При этом проводят внешний осмотр РЭМ, в процессе которого должно быть установлено:
- соответствие комплекта поставки РЭМ данным, приведенным в паспорте (формуляре);
- отсутствие механических повреждений всех составных частей РЭМ;
- отсутствие механических повреждений соединительных кабелей и сетевых разъемов;
- наличие маркировки на РЭМ и ее соответствие данным, приведенным в паспорте (формуляре).

7.3 Устанавливают рельефную меру на рабочий стол РЭМ.

7.4 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ проводят подготовительные операции, которые включают в себя откачку воздуха из камеры образцов, установку ускоряющего напряжения и режимов работы осветительной системы, юстировку электронного зонда в режиме регистрации МВЭ. Ускоряющее напряжение должно обеспечивать требуемые условия функционирования как низковольтного, так и высоковольтного РЭМ.

7.5 При значениях электронно-оптического увеличения РЭМ от 20 до 100 определяют ту область на рабочем столе РЭМ, где расположена рельефная мера.

7.6 Постепенно повышают электронно-оптическое увеличение РЭМ и при этом на каждом этапе проводят фокусировку электронного зонда в соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ. Повышение электронно-оптического увеличения РЭМ прекращают при появлении на экране монитора микроскопа видеоизображения выступа, который указан в паспорте (формуляре) рельефной меры в качестве исследуемого элемента для калибровки РЭМ. Схематическое изображение наблюдаемого в режиме регистрации МВЭ видеопрофиля для выступа с трапецеидальным профилем, сечение которого изображено на рисунке 1а), приведено на рисунке 1б) - для низковольтного РЭМ и на рисунке 1в) - для высоковольтного РЭМ. На рисунке 1 также приведены обозначения параметров, характеризующих геометрическую форму и размеры выступа.
Примечание - Значение электронно-оптического увеличения РЭМ должно обеспечивать получение изображений, которые позволяют определить значения параметров, приведенных на рисунке 1б) и в).

7.7 Проверяют установку рельефной меры на рабочем столе РЭМ в соответствии с инструкцией по его эксплуатации. При этом проверяют:
- параллельность вертикальной оси изображения относительно перпендикуляра к поверхности рельефной меры. Для обеспечения параллельности поворачивают рельефную меру вокруг оси, перпендикулярной к плоскости ее поверхности, или осуществляют электронное вращение растра РЭМ, если такая возможность предусмотрена конструкцией РЭМ;
- параллельность плоскости рельефной меры относительно направления строчной развертки РЭМ, что подтверждается равенством отрезков и на видеопрофилях, приведенных на рисунке 1б) и в).
Примечание - Процедура проверки установки рельефной меры на рабочем столе РЭМ зависит от его конструкции и используемого типа катода для получения электронного зонда. В качестве операций, которые проводят при такой проверке, могут быть настройка соответствующего значения тока зонда, компенсация астигматизма, настройка тока объективной линзы, юстировка объективной диафрагмы и др. Поэтому для каждого конструктивного исполнения РЭМ целесообразно разработать методику проверки установки рельефной меры, определяющую последовательность операций и визуальные критерии оптимальной фокусировки электронного зонда.

7.8 Если после проверки по 7.7 не получены положительные результаты, то рельефную меру перемещают на рабочем столе РЭМ по линии элемента рельефа на расстояние, соответствующее размеру изображения. После этого операции по 7.4-7.7 повторяют.
Примечание - Необходимость перемещения рельефной меры характерна для РЭМ с паромасляной системой откачки, в которых за время выполнения операций по 7.6 может произойти нарастание слоя загрязнений, искажающего размеры элементов рельефной меры. В высоковакуумных РЭМ и РЭМ с безмасляной откачкой этот эффект значительно слабее. Необходимость перемещения устанавливают экспериментально на этапе подготовки РЭМ к калибровке. В протоколе с результатами калибровки делают запись о выполнении операций по 7.7 и 7.8.

7.9 Настраивают видеоконтрольное устройство РЭМ таким образом, чтобы число пикселей в направлении сканирования было достаточным для того, чтобы можно было пренебречь значением неопределенности, обусловленным квантованием видеосигнала. Это достигается выбором соответствующих размеров изображения в пикселях и электронно-оптического увеличения микроскопа. Выбор увеличения осуществляют таким образом, чтобы видеопрофиль элемента, изображенного на рисунке 1а), имел вид, приведенный на рисунке 1б) или в). При этом значения проекций наклонных стенок выступа , , измеренных по видеопрофилю, должны быть не менее 200 пикселей.

8 Процедура проведения измерений

8.1 В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого элемента рельефной меры. Видеопрофиль выступа рельефной меры представлен на рисунке 1б) и в).

8.2 Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 1б) и в), оформляют в виде протокола калибровки. Форма протокола - произвольная. Протокол с результатами калибровки должен храниться как минимум до следующей калибровки РЭМ.

9 Обработка результатов измерений

9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофиле информативного сигнала микроскопа
Для калибровки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между контрольными точками, которое не зависит от эффективного диаметра электронного зонда при выполнении условия по 7.7.
Расположение контрольных точек 1-4 на видеопрофиле информативного сигнала приведено на рисунке 1б) и в).
Ординату контрольной точки 1 вычисляют как полусумму ординат точек первого и второго изломов в направлении сканирования 0,5 в пикселях.
Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого изломов в направлении сканирования 0,5 в пикселях.
Ординату контрольной точки 3 вычисляют как полусумму ординат точек пятого и шестого изломов в направлении сканирования 0,5 в пикселях.
Ординату контрольной точки 4 вычисляют как полусумму ординат точек седьмого и восьмого изломов в направлении сканирования 0,5 в пикселях.
По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс контрольных точек 1-4.

9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков
Значения вспомогательных отрезков для низковольтных или высоковольтных РЭМ определяют по значениям абсцисс контрольных точек, вычисленных по 9.1:
, - разность значений абсцисс второй и первой контрольных точек и четвертой и третьей контрольных точек соответственно в пикселях;
, - разность значений абсцисс второго и первого изломов и восьмого и седьмого изломов на видеопрофиле соответственно в пикселях.

9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ
Масштабный коэффициент видеоизображения , нм/пиксель, вычисляют по формуле

,


где - значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

, - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ
Эффективный диаметр электронного зонда РЭМ , нм, вычисляют по формуле

,


где - масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

, - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.

10 Оценка неопределенности измерений параметров

10.1 Суммарную стандартную неопределенность , нм/пиксель, измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ вычисляют по формуле

,


где - стандартная неопределенность измерения проекции наклонной стенки выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;

- масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

, - стандартные неопределенности измерений проекций наклонных стенок выступа по видеопрофилю, пиксель;

, - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель.
Примечание - Если в паспорте (формуляре) на рельефную меру приведена абсолютная погрешность измерения проекции наклонной стенки выступа, то вычисление осуществляют по [6]. При равномерном квантовании видеосигнала значения и принимают равными 0,5 пиксель.

10.2 Суммарную стандартную неопределенность , нм, измерения эффективного диаметра электронного зонда РЭМ , вычисляют по формуле

,


где , - расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2, пиксель;

- суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, вычисленная по 10.1, нм/пиксель;

- масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ, вычисленный по 9.3, нм/пиксель;

, - стандартные неопределенности измерений расстояний между контрольными точками.
Примечание - При равномерном квантовании видеосигнала значения и принимают равными 0,5 пиксель.

11 Оформление результатов калибровки

11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертификата о калибровке установленной формы [7] с соответствующей записью об этом в паспорте (формуляре) на РЭМ и удостоверяют калибровочным знаком, наносимым на РЭМ.

11.2 В сертификате о калибровке и в паспорте (формуляре) на РЭМ должны быть приведены значения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ и эффективного диаметра электронного зонда РЭМ . Для перечисленных метрологических характеристик РЭМ необходимо также указать значения неопределенностей, вычисленных по разделу 10.

Библиография

[1]

ПР 50.2.018-95

Государственная система обеспечения единства измерений. Порядок аккредитации метрологических служб юридических лиц на право проведения калибровочных работ

[2]

Правила технической эксплуатации электроустановок потребителей (утверждены приказом Минэнерго России от 13.01.2003 г. N 6; зарегистрированы Минюстом России 22.01.2003 г., рег. N 4145)

[3]

ПОТ РМ-016-2001
РД 153.34.0-03.150-00

Межотраслевые правила по охране труда (правила безопасности) при эксплуатации электроустановок

[4]

Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы
СанПиН 2.2.4.1191-03

Электромагнитные поля в производственных условиях

[5]

Санитарно-эпидемиологические правила и нормативы
СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03

Гигиенические требования к персональным электронно-вычислительным машинам и организации работы

[6]

РМГ 43-2001

Государственная система обеспечения единства измерений. Применение "Руководства по выражению неопределенности измерений"

[7]

ПР 50.2.016-94

Государственная система обеспечения единства измерений. Требования к выполнению калибровочных работ




РОССТАНДАРТ
ФA по техническому регулированию и метрологии
НОВЫЕ НАЦИОНАЛЬНЫЕ СТАНДАРТЫ
www.protect.gost.ru

ФГУП СТАНДАРТИНФОРМ
предоставление информации из БД "Продукция России"
www.gostinfo.ru

ФА ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ
Информационная система "Опасные товары"
www.sinatra-gost.ru


просмотров: 414
Измерение расхода воды в закрытых каналах. Счетчики холодной питьевой воды. Технические требования, ГОСТ Р 50193.1-92
Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизических параметров, ГОСТ 22622-77
Воск пчелиный. Методы определения влажности, ГОСТ Р 52099-2003
Винты с накатанной низкой головкой и коническим концом, ГОСТ 21333-75
Фосфаты кормовые. Методы определения фосфора, ГОСТ 24596.2-81
Устройства и системы телемеханики, ч5. Протоколы передачи. Р102. Обобщающий стандарт по передаче интегральных параметров в энергосистемах, ГОСТ Р МЭК 870-5-102-2001
Нити химические. Метод определения пороков внешнего вида, ГОСТ 26900-86
Пресс-формы съемные этажные с горизонтальным разъемом для изготовления резиновых колец круглого сечения, ГОСТ 26297-84
Трубы из термопластов для транспортирования жидких и газообразных сред. Размеры и допуски, ч1. Метрическая серия, ГОСТ ИСО 11922-1-2006
Метанол-яд технический. Метод определения аммиака и аминосоединений в пересчете на аммиак, ГОСТ 25742.7-83
Торф. Методы определения зольности в залежи, ГОСТ 26801-86
Вода питьевая, метод определения массовой концентрации стронция, ГОСТ 23950-88
Водки и водки особые, ГОСТ Р 51355-99
Кинопленка. Метод определения термостатной усадки, ГОСТ 11477-65
СПКП. Мех искусственный трикотажный. Номенклатура показателей, ГОСТ 4.80-82
Репрография. Микрография. Микрофиши на выходе из ЭВМ. Общие требования и нормы, ГОСТ 13.1.113-90
Проекторы измерительные, ГОСТ 19795-82
Плиты-заготовки круглые пакетов штампов листовой штамповки для разделительных операций, ГОСТ 15862-81
Зигмашины. Основные параметры и размеры, ГОСТ 11370-75
Концентрат висмутовый. Общие требования к методам анализа, ГОСТ 28407.0-89
Search All Ebay* AU* AT* BE* CA* FR* DE* IN* IE* IT* MY* NL* PL* SG* ES* CH* UK*
Search Results from AllSoft: новости

Сан-Франциско ждет! Вы — Маркус, блестящий хакер, объединяетесь с DedSec, чтобы противостоять ctOS 2.0, системе глобального контроля. Сокрушите ее, это будет взлом века!
Первым покупателям — скидка 250 рублей! Успей купить первым! 


подробнее»
181528

PrintStore Pro — программа для учета расходных материалов и оборудования. Просчитывает запас каждого картриджа в каждом принтере и помогает сформировать заказ на следующий период. Поддерживает учет перезаправок. Учитывает при всех операциях совместимость принтеров и картриджей. Хранит историю всех действий с картриджами и принтерами, позволяет создавать множество отчетов.


подробнее»
123795

Fax Voip T38 Fax & Voice — факс и автоответчик для вашей SIP/H.323/ISDN сети. Виртуальные голосовые факс модемы. Поддержка T.38, Fax поверх G.711 и CAPI факс. Одновременные SIP регистрации, маршрутизация вызовов, цветные факсы. Совместимость со стандартными факс программами. Fax Voip принтер, Консоль Fax Voip для управления факсами. Сохранение входящих факсов в TIFF/PDF/SFF файлы. Маршрутизация входящих факсов: E-mail, Сохранить в папке, Печать. Факс по запросу. Отправка факса через e-mail (Почта-на-факс) и получение факсов на e-mail (Факс-на-почту).


подробнее»
139103

Fax Voip T38 Fax & Voice — факс и автоответчик для вашей SIP/H.323/ISDN сети. Виртуальные голосовые факс модемы. Поддержка T.38, Fax поверх G.711 и CAPI факс. Одновременные SIP регистрации, маршрутизация вызовов, цветные факсы. Совместимость со стандартными факс программами. Fax Voip принтер, Консоль Fax Voip для управления факсами. Сохранение входящих факсов в TIFF/PDF/SFF файлы. Маршрутизация входящих факсов: E-mail, Сохранить в папке, Печать. Факс по запросу. Отправка факса через e-mail (Почта-на-факс) и получение факсов на e-mail (Факс-на-почту).


подробнее»
141754

Retouch Pilot — программа для удаления изъянов с фотографий, таких как царапины, мелкие пятна и другие мелкие дефекты, существующие на фото или полученные при сканировании. Вы можете удалять целые объекты, попавшие случайно в кадр, а также инструментом пластика изменять форму и пропорции. Программа позволяет ретушировать изъяны кожи - пятнышки, морщинки и др..


подробнее»
26516

R-Studio — эффективное программное обеспечение, позволяющее восстанавливать данные с жестких дисков, CD, DVD, дискет, USB дисков, ZIP дисков и устройств флеш-памяти.


подробнее»
88115

Сборка электронных каталогов автозапчастей включает в себя грузовые автомобили Европы и Китая. В сборку включена программа Tecdoc, позволяющая подобрать не оригинальные запчасти.


подробнее»
183206

Sound Pilot озвучивает клавиатуру. Каждое прикосновение к клавиатуре рождает звук, который разнообразит процесс набора текста, развлекает и снижает утомляемость.


подробнее»
78205
Search All Amazon* UK* DE* FR* JP* CA* CN* IT* ES* IN* BR* MX
Search Results from «Озон» ГОСТы, отраслевые стандарты
 
 Государственные сметные нормативы. Государственные элементные сметные нормы на монтаж оборудования. ГЭСНм 81-03-ОП-2001. Общие положения
Государственные сметные нормативы. Государственные элементные сметные нормы на монтаж оборудования. ГЭСНм 81-03-ОП-2001. Общие положения
Государственные сметные нормативы. Государственные элементные сметные нормы на монтаж оборудования (далее - ГЭСНм) предназначены для определения потребности в ресурсах (затрат труда рабочих, машинистов, времени эксплуатации строительных машин и механизмов, материальных ресурсов) при выполнении работ по монтажу оборудования и для составления на их основе сметных расчетов (смет) на производство указанных работ ресурсным и ресурсно-индексным методами.
ГЭСНм являются исходными нормами для разработки других сметных нормативов: единичных расценок федерального, территориального и отраслевого уровней, индивидуальных и укрупненных сметных нормативов.

Разработаны Федеральным центром ценообразования в строительстве и промышленности строительных материалов.
Утверждены приказом Министерства регионального развития Российской Федерации от 04 августа 2009 г. №321.

Формат: 20,5 см x 29 см....

Цена:
1449 руб

 Государственные элементные сметные нормы на пусконаладочные работы. ГЭСНп 81-05-Пр-2001
Государственные элементные сметные нормы на пусконаладочные работы. ГЭСНп 81-05-Пр-2001
Государственные элементные сметные нормы на пусконаладочные работы (далее - ГЭСНп) предназначены для определения потребности в ресурсах (затрат труда пусконаладочного персонала) при выполнении пусконаладочных работ и для составления на их основе сметных расчетов (смет) на производство указанных работ ресурсным и ресурсно-индексным методами.
ГЭСНп являются исходными нормами для разработки других сметных нормативов: единичных расценок федерального, территориального и отраслевого уровней, индивидуальных и укрупненных сметных нормативов.

Формат: 20 см x 25 см....

Цена:
589 руб

Измерения для всех
Измерения для всех
Каждый человек волей-неволей сталкивается с измерениями: будь то дома, в магазине, на приусадебном участке, на отдыхе и т.д. Данная книга призвана дать необходимые знания в области измерений. Она содержит практические советы, которые пригодятся Вам в домашнем хозяйстве при приготовлении пищи, ремонте квартиры, покупке одежды и обуви, при выполнении слесарных или плотницких работ, при пользовании электробытовыми приборами. Книга будет интересна людям, имеющим приусадебные хозяйства, фото-, авто- и радиолюбителям. Советы, приведенные в книге, пригодятся Вам и в туристическом походе, и при занятиях спортом. Кроме того, Вы познакомитесь с историей метрологии (науки об измерениях), с историческими курьезами, связанными с ней, и др.
Надеемся, что книга расширит Ваш кругозор и станет Вашей надежной помощницей.

Для широкого круга читателей....

Цена:
474 руб

 Стандарты и качество № 6 2007
Стандарты и качество № 6 2007

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

Основные темы публикаций:

– менеджмент качества в государственных и муниципальных органах управления, отраслях экономики и сферах общественной жизни (образование, здравоохранение, строительство, агропромышленный комплекс);

– экономика качества;

– техническое регулирование в Таможенном союзе;

– деятельность международных организаций по стандартизации и качеству;

– опыт работы передовых предприятий страны, успешно действующих на российских и зарубежных рынках;

– актуальные проблемы менеджмента качества и экологического менеджмента;

– конкурентоспособность;

– надежность и безопасность;

– деятельность Всероссийской организации качества (ВОК);

– конкурсы и премии в области качества.

...

Цена:
150 руб

 Стандарты и качество № 3 2007
Стандарты и качество № 3 2007

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

Основные темы публикаций:

– менеджмент качества в государственных и муниципальных органах управления, отраслях экономики и сферах общественной жизни (образование, здравоохранение, строительство, агропромышленный комплекс);

– экономика качества;

– техническое регулирование в Таможенном союзе;

– деятельность международных организаций по стандартизации и качеству;

– опыт работы передовых предприятий страны, успешно действующих на российских и зарубежных рынках;

– актуальные проблемы менеджмента качества и экологического менеджмента;

– конкурентоспособность;

– надежность и безопасность;

– деятельность Всероссийской организации качества (ВОК);

– конкурсы и премии в области качества.

...

Цена:
150 руб

 Стандарты и качество № 10 2010
Стандарты и качество № 10 2010

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

Основные темы публикаций:

– менеджмент качества в государственных и муниципальных органах управления, отраслях экономики и сферах общественной жизни (образование, здравоохранение, строительство, агропромышленный комплекс);

– экономика качества;

– техническое регулирование в Таможенном союзе;

– деятельность международных организаций по стандартизации и качеству;

– опыт работы передовых предприятий страны, успешно действующих на российских и зарубежных рынках;

– актуальные проблемы менеджмента качества и экологического менеджмента;

– конкурентоспособность;

– надежность и безопасность;

– деятельность Всероссийской организации качества (ВОК);

– конкурсы и премии в области качества.

...

Цена:
180 руб

 Стандарты и качество № 6 (888) 2011
Стандарты и качество № 6 (888) 2011

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

В номере:

– Техническое регулирование как инструмент экономической интеграции на постсоветском пространстве

– Рекомендации для пользователей зарубежных стандартов. Легитимные источники приобретения

– Качество в Вологде и Вологодской области: Вологодское – значит качественное. К эффективности образования – через качество. СМК на сельхозпредприятии? Это возможно!

и многое другое!

...

Цена:
210 руб

 Стандарты и качество № 6 (900) 2012
Стандарты и качество № 6 (900) 2012

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

В номере:

– Таможенный союз: новые возможности

– Актуальные задачи стандартизации химических реактивов

– Идентификаторы для электронных торгов

– Качество продукции как объект мониторинга закупок для государственных нужд

и многое другое!

...

Цена:
210 руб

 Стандарты и качество № 5 (911) 2013
Стандарты и качество № 5 (911) 2013

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

В номере:

– Когда качество переходит в количество

– Системообразующий закон в сфере государственно-частного партнерства

– Устойчивое развитие административно-территориальных образований

– Генетически модифицированные организмы – новая угроза

и многое другое!

...

Цена:
250 руб

 Стандарты и качество № 3 (909) 2013
Стандарты и качество № 3 (909) 2013

«Стандарты и качество» – старейший научно-технический и экономический журнал России для профессионалов в области стандартизации и управления качеством. Издание последовательно и обстоятельно рассказывает на своих страницах о новейших формах и методах управления качеством в России и странах СНГ. Издаётся с 1927 г.

В номере:

– Потребитель и государство

– Достижение эквивалентности систем технического регулирования как способ развития международной торговли

– Качество как аспект макроэкономического исследования

– Проектный подход к изменению управления организацией

и многое другое!

...

Цена:
250 руб

«ePayService» Платежные карты на все случаи жизни, денежные переводы, обналичить чек на инкассо
Booking.com
2008 Copyright © JobYou.ru Мобильная Версия v.2015 | PeterLife и компания
Пользовательское соглашение использование материалов сайта разрешено с активной ссылкой на сайт
Rambler's Top100 Яндекс цитирования Яндекс.Метрика